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衬底的定义

1.衬底的物理与化学性质

衬底，或称基片（substrate），是指在半导体器件制造过程中用来支持其他材料或结构的底层材料。衬底的物理性质包括其晶体结构、机械强度、热导率、膨胀系数等，而化学性质则涵盖其纯度、表面化学稳定性、化学反应活性等。常见的衬底材料如硅（Si）、砷化镓（GaAs）、碳化硅（SiC）等，因其物理与化学性质而被广泛应用。

2.衬底的作用与功能

在半导体制造中，衬底起到至关重要的支撑作用。首先，衬底为后续的材料沉积和器件制作提供了一个平整且稳定的基础，其次，衬底材料的选择直接影响器件的性能和制造成本。此外，衬底还需具备良好的机械强度和热导率，以支持器件在高功率和高温条件下稳定运行。

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